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ES660 ESD靜電放電和閂鎖測試系統(tǒng)的詳細資料:
ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美國密蘇里州羅拉創(chuàng)立。ESDEMC 開發(fā) ESD 和 EMC 解決方案。公司致力于提供創(chuàng)新、先進、高質(zhì)量和具有成本效益的解決方案以及一般咨詢、測試服務和定制項目。產(chǎn)品包括充電設備模型 (CDM) 系統(tǒng)、電纜放電事件 (CDE) 系統(tǒng)、ESD 模擬器、脈沖衰減器、電流探頭、用于射頻發(fā)射/免疫的 TEM 電池、高壓直流電源、定制的高壓/射頻設計。ESDEMC Technology 自 2012 年以來一直是 ESD 協(xié)會的企業(yè)會員。
ES660 ESD靜電放電和閂鎖測試系統(tǒng)是一款先進的多針自動測試設備。針對現(xiàn)代半導體測試的嚴苛要求而設計。產(chǎn)品的測試能力保障大規(guī)模器件的高效評估,顯著縮短測試時間并提升生產(chǎn)效率。
專為滿足現(xiàn)代半導體測試的嚴苛要求而設計。該多功能設備可全面支持人體放電模型(HBM)、機器模型(MM)、閂鎖(LU)及瞬態(tài)閂鎖(TLU)測試,為集成電路(IC)和電子元件的可靠性評估提供完整解決方案。相比ES612A+RE64繼電器擴展模塊/ES660-P1-EM1 ATE擴展模塊的舊方案,ES660具備更高規(guī)格配置。ES660-P1基礎配置支持128至1024/1280引腳及10條總線,是多接口集成電路與電子元件測試的理想硬件平臺。針對更高引腳數(shù)測試需求,ES660-P1可升級至ES660-P2配置。該配置采用高密度主機母板,支持高達2560引腳和12條總線。最新ES660主機與繼電器卡的高壓直流總線額定電壓達800+V以上,標準電壓總線為100V直流,ESD與漏電通路的耐壓等級達1200+V直流。該設計使系統(tǒng)具備高壓直流與閂鎖測試能力(例如支持高達±300V的LU偏壓和應力)。高度模塊化設計確保設備可持續(xù)升級,以支持未來更高引腳數(shù)與更先進的測試需求。ES660的測試能力保障大規(guī)模器件的高效評估,顯著縮短測試時間并提升生產(chǎn)效率。
產(chǎn)品特性
● 系統(tǒng)配置高度靈活,支持從128引腳擴展至2560引腳,總線數(shù)量可配置1至12條
● 具備高規(guī)格測試能力,包括10kV HBM、4kV MM、300V/1A直流及閂鎖應力、1100V SMU漏電流測試
● 基于低寄生繼電器的HBM測試儀(符合JS-001 2017附錄B4、2023/2024附錄C5 N=9標準)
● ESD測試速度快(可選10/15引腳每秒,正在開發(fā)20+引腳每秒)
● 兼容多種ESD/閂鎖/瞬態(tài)閂鎖測試方法與標準
● 可通過軟件捕獲并顯示閂鎖源的電壓電流波形(支持帶/不帶示波器多種配置)
● 配合外部電壓電流探頭,可通過軟件捕獲ESD IV特性曲線
● 可選配溫控強制模塊(可選室溫至200°C或-15至200°C范圍)
● 可選配多協(xié)議預處理模塊,實現(xiàn)閂鎖測試中的交互行為
● 14英寸觸摸屏實時顯示測試進度與狀態(tài)
● 支持瞬態(tài)閂鎖測試配置(可搭配TLP/EOS/浪涌等測試方法)
產(chǎn)品應用
● 半導體ESD/EOS/LU測試
● HBM測試配置符合ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AECQ100-002、AEC-Q-101-001、AEC-Q100-002及GJB548C標準
● MM測試配置符合ANSI/ESDA SP5.2、JEDEC/JESD22-A115標準
● 閂鎖(LU)測試:符合 JEDEC JESD78、AEC-Q100-004 標準,支持Overvoltage-Test、I-Test
● 瞬態(tài)閂鎖(TLU)測量配置符合ANSI/ESD SP5.4.1 標準
ES660 ESD靜電放電和閂鎖測試系統(tǒng)技術規(guī)格
| 參數(shù) | ES660-P1/P2 | 單位 | 備注 | 
| 觸摸屏 | 14 | inch | |
| 外形尺寸 | (ESDEMC機柜系統(tǒng)) | cm | |
| 重量 | (由配置決定)50-200 | kg | |
| ESD與閂鎖測試波形 | 可選無源電壓和電流探頭 | ||
| 兼容示波器 | Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol的大多數(shù)型號 | 可定制適配的型號 | |
| 兼容源測量單元 | Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol 的部分型號 | 可定制適配的型號 | |
| 兼容電源 | Keysight, Tektronix, LeCroy, Rigol的部分型號 | 可定制適配的型號 | 
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